洁净室,又称无尘室,是将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温度、洁净度、压力、气流速度与分布、噪音振动及照明、静电等控制在某一需求范围内的特殊房间。不论外在空气条件如何变化,其室内均能维持原先设定的要求。通过空气净化系统不断循环过滤空气,去除尘埃和微生物等杂质,同时利用合理的气流组织形式,如非单向流(乱流型)、单向流(层流型,包括垂直单向流和水平单向流)等,使洁净空气在室内均匀分布,防止污染粒子进入工作区域。
洁净室分类:
-按气流流型分类
-非单向流洁净室:以前常称为乱流型,室内的气流并不都按单一方向流动,适用于洁净度要求一般、人员活动较多、工艺过程相对简单的场所,如普通电子装配车间等。
-单向流洁净室:又分为垂直单向流和水平单向流。气流以均匀的流速、单一的方向平行流动,能有效带走污染物,自净能力强,可达到较高的洁净度,常用于对洁净度要求高的场所,如半导体芯片制造的关键环节、高级别生物安全实验室等。
-按用途分类
-工业洁净室:以无生命微粒的控制为对象,主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。适用于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承加工)、电子工业(半导体、集成电路等)、宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)、LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
-生物洁净室:则侧重于控制有生命微粒(如细菌、病毒等)的污染,常用于制药厂、医院手术室、无菌病房、生物实验室等对生物洁净度要求严格的环境。