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    特种气体系统的设计与施工要求

    发布时间: 2023-10-11  点击次数: 537次


    特种气体是指那些在特定领域中应用、对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。在半导体器件,尤其是大规模和超大规模集成电路的生产过程中用途广泛。博泰小编带大家了解相关知识。


    一、分类 

    特种气体根据气体性质不同一般分为:惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体。根据供应包装的不同分为:特种气体和大宗特种气体。


    二、特种气体管道的施工 

    特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接,同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序,对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。最后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。


    三、供气系统的选择 

    1、简单供气系统 
    简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单,通常不需要连续性供气,对气体供应系统的投资预算低。


    2、常规供气系统 
    常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂,50MW以下的太阳能电池生产线,发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻,系统配备在满足安全的前提下尽量简单。


    3、大宗特气供气系统

    大宗特气供应系统采用全自动PLC控制器,彩色触摸屏;气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空。注意安全防护措施,防止泄漏侦测,设置远程紧急切断专用氮气吹扫起源等等。



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