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    半导体洁净车间建设要求

    发布时间: 2023-09-21  点击次数: 1211次

     

    半导体洁净车间作为半导体制造的重要场所,其建设过程中需要考虑多方面的因素。博泰小编带大家了解半导体洁净车间建设的要求有哪些。

     

    一、半导体洁净车间的需求

     

    1、生产环境:

    半导体洁净车间应满足半导体生产过程中的环境要求,如温度、湿度、气压等。此外还需保证车间的噪声、振动和电磁干扰等指标符合相关标准。

     

    2、洁净度要求:

    半导体生产过程中对空气中的微粒和有害气体含量要求高,因此洁净车间需要达到一定的洁净度等级。一般来说半导体生产要求的洁净度等级为ISO 5级或更高级别。

     

    3、人员健康安全:

    半导体洁净车间应确保人员的健康安全,包括提供洁净的饮用水、安全的厂内交通和卫生设施等。还需对员工进行定期的健康检查和培训,确保他们在洁净环境下安全工作。

     

    二、半导体洁净车间建设的准备

     

    1、设计规划:

    在建设前应对车间的使用功能、生产流程和设备布局等进行全面规划,需要考虑人员流动、物料流动和能源流等各方面因素。

     

    2、设备选购:

    根据设计规划选购合适的生产设备、检测设备和环保设备等,在选购过程中应着重考虑设备的性能、可靠性、节能性等方面的因素。

     

    3、材料质量把控:

    严格把控建筑材料、装饰材料和生产材料的质量,所有材料应符合防火、防潮、防尘和无毒等要求,以确保车间的稳定性和人员的健康安全。

     

    三、半导体洁净车间建设的技术

     

    1、防静电:

    静电对半导体产品的影响非常大,因此需要采取有效的防静电措施。这包括使用防静电材料、设置防静电接地系统、提供防静电工作服和工具等。


    2、温度控制:

    半导体生产过程中对温度的稳定性要求高,因此需要采用先进的空调系统来实现精准的温度控制。一般要求温度波动不超过±2℃,以确保产品的稳定性和一致性。

     

    3、空气净化:

    为实现车间的洁净度要求,需要采用高效空气过滤器、乱流送风等方式,确保空气中的微粒和有害气体含量符合标准。还需定期清洁设备和地面,以保持良好的环境卫生。

     

     

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